Корпорация Newport сократила время сбора и анализа данных на сотни часов
12 августа 2015
В статье приводится решение задачи по налаживанию эффективного управления оборудованием сбора данных и выполнению точного и быстрого анализа данных. Применение Instrument Control Toolbox для управления измерительным оборудованием, Data Acquisition Toolbox для сбора данных и MATLAB для их анализа, позволило поставить заказчику продукт вовремя, снимать результаты измерений сразу с нескольких приборов, значительно сократить время анализа данных.
Корпорация Newport (далее Newport) разрабатывает разнообразные продукты для полупроводниковой промышленности, куда входят устройства управления движением, которые с требуемой точностью перемещают кремниевые пластины во время изготовления микросхем. Полупроводниковая промышленность непрерывно продолжает миниатюризировать электронные компоненты, поэтому продукты Newport предлагают решения с точностью на уровне нанометров и даже меньше. При столь малых масштабах изменение температуры даже на десятую долю градуса может значительно повлиять на процесс движения и, как следствие, на успех изготовления микросхемы.
Измерение этих изменений требует точного измерительного оборудования, включая тепловые датчики, лазерные интерферометры, автоколлиматоры и акселерометры. Кроме того, необходимо выполнять быстрый и точный анализ полученных данных. С помощью MATLAB и его расширений Newport с легкостью осуществляет сбор данных и анализ результатов измерений с этих инструментов.
